国产精品电影久久_国产精品国语对白_国产传媒精品1区2区3区_国产高清精品福利私拍国产写真

時柵E+E位移傳感器的動態(tài)測量與頻譜分析
針對時柵E+E位移傳感器的結構特點,提出了動態(tài)測量的主要誤差源。采用光柵尺作為母儀,時柵E+E位移傳感器空間位置為光柵的測量值,將光柵測量值與時柵E+E位移傳感器的預測值進行比較,從而得到動態(tài)測量的誤差值。

時柵E+E位移傳感器的動態(tài)測量與頻譜分析
隨著時柵E+E位移傳感器的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展,測量需求的趨勢日益凸顯,提出了一種基于TDC-GP2的時柵E+E位移傳感器信號處理系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用和AD9958產(chǎn)生時柵E+E位移傳感器所需的高穩(wěn)定、高精度勵磁信號,采用高分辨率TDC-GP2數(shù)字時鐘轉換器來測量傳感器動、定測頭的感應信號相位時間差,將測量結果送入微處理器中處理,以此到達以時間測量空間的目的。經(jīng)實驗表明:48對極時柵傳感器整周(0~360°)的誤差達到±2.3″,該方案優(yōu)化了電路結構,提高了時柵E+E位移傳感器的測量精度。針對現(xiàn)有高精度E+E位移傳感器柵距小導致對制造和使用環(huán)境要求苛刻的問題,提出一種采用高頻時鐘脈沖作為測量基準,可在大極距條件下實現(xiàn)高精度、大量程直線位移測量的時柵E+E位移傳感器。傳感器通過在交變電磁場中改變勵磁線圈和磁場拾取線圈的耦合狀態(tài)建立以時間差反映位移變化的行波信號,實現(xiàn)精密位移測量。通過有限元分析軟件對傳感器進行了建模和仿真,根據(jù)仿真結果得到傳感器仿真模型的測量誤差,并對其進行了諧波分析;根據(jù)誤差特點和變化規(guī)律對主要誤差進行了溯源,并對模型進行了優(yōu)化。根據(jù)優(yōu)化模型制作了傳感器實物,開展了驗證實驗。實驗結果表明:根據(jù)仿真結果對傳感器進行優(yōu)化設計,在200 mm的測量范圍內(nèi),傳感器精度達到±500 nm,且系統(tǒng)成本低廉,極易制造。為時柵E+E位移傳感器在惡劣環(huán)境中的應用提供了解決方案和理論依據(jù)。為了提高時柵E+E位移傳感器的測量精度及分辨率,提出了一種基于的時柵E+E位移傳感器信號處理系統(tǒng);系統(tǒng)包括硬件電路設計和軟件設計;硬件電路以內(nèi)核處理器芯片和復雜可編程邏輯器件CPLD為核心,集成了信號調(diào)理、信號處理等電路模塊;運用高頻時鐘脈沖插補時柵E+E位移傳感器感應信號和參考信號之間的相位差,通過軟件設計控制信號的采集和處理,實現(xiàn)了相位檢測。

時柵E+E位移傳感器的動態(tài)測量與頻譜分析
經(jīng)實驗驗證,采用以為核心的時柵信號處理系統(tǒng)后,時柵E+E位移傳感器的角度誤差峰峰值達到2.4",實現(xiàn)了高精度、高分辨率的時柵角位移測量。對誤差值進行數(shù)據(jù)的截斷和采樣、異常數(shù)據(jù)剔除,然后對誤差值進行幅值譜和相位譜分析,采用誤差分離和諧波修正,研制高精度的時柵E+E位移傳感器。