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壓阻型擴(kuò)散硅智能E+E壓力傳感器的設(shè)計(jì)應(yīng)用
壓阻型擴(kuò)散硅E+E壓力傳感器以其低價(jià)格得到廣泛應(yīng)用，基于單片機(jī)技術(shù)的智能E+E壓力傳感器以其使用方便，測(cè)量精確而得以推廣。 E+E壓力傳感器的核心是擴(kuò)散硅電阻橋，智能E+E壓力傳感器應(yīng)用單片機(jī)技術(shù)采集數(shù)據(jù)、處理并輸出顯示結(jié)果。擴(kuò)散硅的壓阻系數(shù)是溫度的函數(shù)，所以存在靈敏度溫漂，而影響溫度的因素是多方面的：測(cè)量環(huán)境的變化，測(cè)量電路產(chǎn)生的熱量的影響等等，所以要想得到比較精確的壓力值，必須對(duì)E+E壓力傳感器進(jìn)行校正。

壓阻型擴(kuò)散硅智能E+E壓力傳感器的設(shè)計(jì)應(yīng)用
E+E壓力傳感器的零點(diǎn)存在熱漂移、電漂移和時(shí)間漂移，減小E+E壓力傳感器的熱零點(diǎn)漂移的措施是各力敏電阻的電阻值及其溫度系數(shù)的相等性。本論文應(yīng)用曲線擬合方法，神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)算法和多項(xiàng)式擬合的規(guī)范化方法校正零點(diǎn)，降低成本且精確度提高。制備了一種基于氧化鋁陶瓷的LC諧振式智能E+E壓力傳感器,并通過(guò)合理地設(shè)計(jì)圓柱螺旋天線以及隔熱結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了該傳感器在高溫環(huán)境中的無(wú)線耦合測(cè)試。研究了傳感器在不同溫度下的阻抗頻率特性,分析并探討了傳感器的高溫性能。測(cè)試結(jié)果表明,在29℃(室溫)至700℃的溫度范圍內(nèi),測(cè)試天線端的zui高瞬時(shí)溫度為188.4℃,保證了傳感器高溫測(cè)試的可靠性。諧振頻率對(duì)溫度的平均變化量為1.314 kHz/℃,兩次重復(fù)性測(cè)試的相對(duì)變化量為3.81%,重復(fù)性較好。該E+E壓力傳感器可應(yīng)用于高溫惡劣環(huán)境下的壓力測(cè)試,其高溫性能的研究為壓力信號(hào)的準(zhǔn)確讀取奠定了良好的基礎(chǔ)。E+E壓力傳感器的壓力靈敏度與壓阻系數(shù)成比例關(guān)系，而壓阻系數(shù)是溫度的函數(shù)，所以非線性補(bǔ)償?shù)膶?shí)質(zhì)是消除溫度對(duì)靈敏度的影響?？蓱?yīng)用的方法很多：二極管補(bǔ)償法，恒流源補(bǔ)償法，熱敏電阻補(bǔ)償法等。本論文利用集成的溫度傳感器AD590獲得溫度信息，應(yīng)用曲線擬合技術(shù)，融入溫度信息，得出帶有溫度信息的壓力解析表達(dá)式，此方法簡(jiǎn)化硬件電路且可實(shí)現(xiàn)自校正自補(bǔ)償功能。

壓阻型擴(kuò)散硅智能E+E壓力傳感器的設(shè)計(jì)應(yīng)用
本論文根據(jù)E+E壓力傳感器零點(diǎn)補(bǔ)償與非線性補(bǔ)償原理，設(shè)計(jì)出了測(cè)量E+E壓力傳感器的硬件電路及C51軟件編程，應(yīng)用單片機(jī)技術(shù)測(cè)量電路簡(jiǎn)單，成本低，應(yīng)用面廣，但是由于自身的穩(wěn)定性其測(cè)量結(jié)果仍存在誤差。