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激光E+E位移傳感器輸出特性分析及應用
激光E+E位移傳感器輸出特性分析及應用 光學精密測量相比傳統(tǒng)的測量方式具有非接觸性、高靈敏度、高精度及快速與實時性等優(yōu)點,在科學研究、工業(yè)生產(chǎn)、空間技術、國防等領域得到了廣泛應用,是一種非常*測量技術?;谌菧y量法的激光E+E位移傳感器近年來得到了快速發(fā)展,在零件的尺寸測量,三維輪廓測量,產(chǎn)品質(zhì)量檢測等領域極大的提高了測量效率和精度。
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微E+E位移傳感器的環(huán)形諧振腔特性研究
微E+E位移傳感器的環(huán)形諧振腔特性研究 微E+E位移傳感器,是實現(xiàn)微小位移測試的敏感器件,在高精密控制、微操作、微納米定位系統(tǒng)、工程厚度測試等領域有著重要的應用。(MEMS)\NEMS技術的快速發(fā)展,對微位移傳感提出了更高精度的要求,甚至要求在納米尺度中實現(xiàn)微小位移的高靈敏快速探測。
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磁致伸縮E+E位移傳感器軟件和硬件電路研究
磁致伸縮E+E位移傳感器軟件和硬件電路研究 傳感器技術、計算機技術與通信技術成為現(xiàn)代信息科學技術的三大支柱。傳感器既是現(xiàn)代信息系統(tǒng)的源頭或“感官”,又是信息社會賴以存在和發(fā)展的物質(zhì)與技術基礎。是人類日常生活、生產(chǎn)過程、科學實驗、軍事活動等*的組成部分。
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全數(shù)字式電容E+E位移傳感器的研制
全數(shù)字式電容E+E位移傳感器的研制 由于具有結(jié)構(gòu)簡單、動態(tài)特性好、能實現(xiàn)非接觸式測量等優(yōu)點,電容E+E位移傳感器廣泛應用于超精密加工、高精度定位、超精密測量等領域。現(xiàn)有電容E+E位移傳感器普遍采用測頭與測量電路分立式設計,信號傳輸電纜的寄生電容等分布參數(shù)對傳感器的分辨力、穩(wěn)定性等性能影響顯著,因此信號傳輸距離受到嚴重限制。
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E+E位移傳感器的發(fā)展及研究
E+E位移傳感器的發(fā)展及研究 E+E位移傳感器又稱為線性傳感器,它可以把位移量轉(zhuǎn)換為電量,從而實現(xiàn)對位移量的檢測。在實際工程應用中,E+E位移傳感器有著非常重要的作用。對各種常見的E+E位移傳感器進行了介紹,闡述并比較了它們的工作原理、應用場合和優(yōu)缺點,可以為從事相關領域工作的技術人員提供參考,以便更好地利用和發(fā)展這些技術。
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電感式角E+E位移傳感器的研制與結(jié)構(gòu)分析
電感式角E+E位移傳感器的研制與結(jié)構(gòu)分析 位移測量具有廣泛應用,電感式傳感器以其結(jié)構(gòu)簡單可靠、輸出功率大、線性好、抗干擾和穩(wěn)定性好、價格低廉等特點獲得了大量的應用。針對目前電感式E+E位移傳感器的應用現(xiàn)狀,在對電感式直線E+E位移傳感器深入分析的基礎上,提出了一種新型結(jié)構(gòu)的電感式角E+E位移傳感器。
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時柵角E+E位移傳感器自標定研究
時柵角E+E位移傳感器自標定研究 精密測量儀器標定技術是保證產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段,也是計量領域科學研究的重要方面。角位移測量大量存在于以制造業(yè)為代表的工業(yè)生產(chǎn)和科學實踐中。時柵作為一種新型的E+E位移傳感器,利用時間測量空間位移,以較低的加工成本獲得了較高的測量精度。自標定技術可以在沒有標準器和參考母儀的條件下實現(xiàn)傳感器系統(tǒng)的誤差自標定。
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調(diào)頻式電容E+E位移傳感器中鑒頻技術的研究
調(diào)頻式電容E+E位移傳感器中鑒頻技術的研究 電容E+E位移傳感器結(jié)構(gòu)簡單、動態(tài)性能好、分辨力高,能實現(xiàn)非接觸式測量,可檢測位移、平面度、微振動等,廣泛應用于高精密加工和測量領域。調(diào)頻式電容E+E位移傳感器一般采用LC振蕩電路作為調(diào)頻電路,在納米級位移測量中,調(diào)頻信息較微弱,且輸入輸出特性存在一定非線性。
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激光E+E位移傳感器的無線通信系統(tǒng)的設計
激光E+E位移傳感器的無線通信系統(tǒng)的設計 激光E+E位移傳感器在工業(yè)中的長度、距離以及三維形貌等檢測中有著廣泛的應用。市場上的激光E+E位移傳感器的數(shù)據(jù)傳輸和電源供電大都是通過有線電纜實現(xiàn)的。
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智能E+E位移傳感器系統(tǒng)的研究
智能E+E位移傳感器系統(tǒng)的研究 隨著計算機測控系統(tǒng)特別是基于現(xiàn)場總線的多傳感器計算機測控系統(tǒng)的發(fā)展,智能傳感器系統(tǒng)作為一個與之相應的新興研究方向,正受到人們越來越多的關注。然而,雖然近年來它的研究與開發(fā)已取得一定成果,但還遠遠不能滿足實際需求,尤其在位移測量領域更是急待發(fā)展。
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E+E位移傳感器的像差檢測光學系統(tǒng)的研究
E+E位移傳感器的像差檢測光學系統(tǒng)的研究 傳統(tǒng)的光學系統(tǒng)對于幾何像差的檢測通常采用星點法、哈特曼法或刀口陰影法等,其測量結(jié)果受人為主觀因素影響較大、精度不高。為滿足光學系統(tǒng)測量像差的精度要求,本系統(tǒng)在傳統(tǒng)的哈特曼(Hartmann)檢測方法基礎上,引入尺E+E位移傳感器,結(jié)合高分辨率CCD作為光電接收裝置,經(jīng)自動對焦和圖像處理。
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非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器參數(shù)化仿真與優(yōu)化
非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器參數(shù)化仿真與優(yōu)化 以非對稱結(jié)構(gòu)差動E+E位移傳感器為研究對象,在電磁分析軟件AnsoftMaxwell2D環(huán)境下,對其進行了建模及電磁性能仿真分析。在軟件腳本錄制功能的基礎上,提出了一種基于VB Script的差動E+E位移傳感器參數(shù)化建模方法。
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增量式時柵E+E位移傳感器原理及系統(tǒng)研究
增量式時柵E+E位移傳感器原理及系統(tǒng)研究 圓分度的精度測量是幾何量測量Z重要的內(nèi)容之一,其分度器件從機械式、光學式、光學機械式,發(fā)展到機電、光機電相結(jié)合的新型分度器件,如光柵、磁柵和感應同步器等。時柵是一種全新概念,它是機械、電子和微處理器相結(jié)合的新型圓分度器件。
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厚膜電容式微E+E位移傳感器及其信號處理研究
厚膜電容式微E+E位移傳感器及其信號處理研究 為深入研究微納米環(huán)境中物體的受力與運動狀態(tài),建立納米尺度下位移、力檢測的理論方法,實現(xiàn)微納米環(huán)境下的操作與位置感知,為PZT(壓電陶瓷)驅(qū)動的微納操作平臺的實時觀測創(chuàng)造條件,提出與微納米環(huán)境下相適應的微E+E位移傳感器的設計、制備與測試方法,研制出能夠用于檢測納米級位移的新型高精度厚膜雙電容式微E+E位移傳感器。
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時柵角E+E位移傳感器自標定與誤差修正研究
時柵角E+E位移傳感器自標定與誤差修正研究 時柵角E+E位移傳感器是根據(jù)時空轉(zhuǎn)換思想而研發(fā)的一種新型傳感器,近年來開始向產(chǎn)業(yè)化邁進。目前,時柵傳感器雖然在加工過程摒棄了空間超精密刻劃技術,但是其檢驗與標定環(huán)節(jié)卻仍依賴于空間超精密刻劃技術的傳感器作為參考基準。
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MEMS微E+E位移傳感器的納米定位工作臺研制
MEMS微E+E位移傳感器的納米定位工作臺研制 過去幾十年中,以壓電陶瓷致動的精密定位技術得到了長足的發(fā)展,已經(jīng)廣泛應用到微系統(tǒng)、生物工程、醫(yī)學等領域。本課題針對現(xiàn)有的微E+E位移傳感器難于實現(xiàn)高集成度和小型化的缺陷,研制了一種集成電橋輸出的硅基壓阻式微E+E位移傳感器,并以硅基壓阻式微E+E位移傳感器為核心建立了一個精密定位系統(tǒng)。
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燃氣汽車進氣歧管E+E壓力傳感器的研制
燃氣汽車進氣歧管E+E壓力傳感器的研制 歧管E+E壓力傳感器作為燃氣汽車燃氣及空氣壓力的檢測單元,是ECU做出Z佳空壓比判斷的Z重要依據(jù),是汽車Z終能否實現(xiàn)節(jié)能減排Z重要的環(huán)節(jié)之一。論文以“燃氣汽車進氣歧管壓力傳感器的研制”為題,從歧管E+E壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及制作難點、標定算法及系統(tǒng)建立、工藝流程梳理和Z后的實驗驗證等方面對歧管E+E壓力傳感器的研制進行論述,確定論文的研究內(nèi)容。
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E+E壓力傳感器信號調(diào)理模塊的設計與實現(xiàn)
E+E壓力傳感器信號調(diào)理模塊的設計與實現(xiàn) E+E壓力傳感器具有體積小、靈敏度等優(yōu)點,發(fā)展前景廣闊。采用工藝模擬軟件結(jié)合文獻設計一種MEMSE+E壓力傳感器制備方法,制備出符合要求的芯片,明確了仿真設計在E+E壓力傳感器工藝設計的可行性。
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新型E+E壓力傳感器結(jié)構(gòu)制備工藝
新型E+E壓力傳感器結(jié)構(gòu)制備工藝 提出一種使用MEMS雙層掩膜完成自對準刻蝕的工藝方法,藉此實現(xiàn)了在深腔結(jié)構(gòu)內(nèi)部對高深寬比硅E+E壓力傳感器結(jié)構(gòu)的精細加工。該工藝通過兩次連續(xù)的平面內(nèi)光刻工藝,使制作在襯底上的薄膜材料如氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)及光刻膠等形成復合圖形,每層圖形化后的掩膜可以進行不同功能區(qū)的襯底刻蝕,刻蝕完畢后再去除對應的掩膜。
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MZI光波導MOEMSE+E壓力傳感器的設計及特性研究
MZI光波導MOEMSE+E壓力傳感器的設計及特性研究 微光機電系統(tǒng)(MOEMS)是一門涉及微光學、微機械、微電子技術的新興學科,由于采用了集成工藝制作技術,因此具有體積小、響應快、集成定位精確、大規(guī)模生產(chǎn)能力、價格低廉的特點,已成為當今科學技術的熱點研究理論之一。
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