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MEMS微E+E位移傳感器的納米定位工作臺(tái)研制 過去幾十年中,以壓電陶瓷致動(dòng)的精密定位技術(shù)得到了長足的發(fā)展,已經(jīng)廣泛應(yīng)用到微系統(tǒng)、生物工程、醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。本課題針對現(xiàn)有的微E+E位移傳感器難于實(shí)現(xiàn)高集成度和小型化的缺陷,研制了一種集成電橋輸出的硅基壓阻式微E+E位移傳感器,并以硅基壓阻式微E+E位移傳感器為核心建立了一個(gè)精密定位系統(tǒng)。

燃?xì)馄囘M(jìn)氣歧管E+E壓力傳感器的研制 歧管E+E壓力傳感器作為燃?xì)馄嚾細(xì)饧翱諝鈮毫Φ臋z測單元,是ECU做出Z佳空壓比判斷的Z重要依據(jù),是汽車Z終能否實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排Z重要的環(huán)節(jié)之一。論文以“燃?xì)馄囘M(jìn)氣歧管壓力傳感器的研制”為題,從歧管E+E壓力傳感器的結(jié)構(gòu)及制作難點(diǎn)、標(biāo)定算法及系統(tǒng)建立、工藝流程梳理和Z后的實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證等方面對歧管E+E壓力傳感器的研制進(jìn)行論述,確定論文的研究內(nèi)容。

E+E壓力傳感器信號調(diào)理模塊的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn) E+E壓力傳感器具有體積小、靈敏度等優(yōu)點(diǎn),發(fā)展前景廣闊。采用工藝模擬軟件結(jié)合文獻(xiàn)設(shè)計(jì)一種MEMSE+E壓力傳感器制備方法,制備出符合要求的芯片,明確了仿真設(shè)計(jì)在E+E壓力傳感器工藝設(shè)計(jì)的可行性。

新型E+E壓力傳感器結(jié)構(gòu)制備工藝 提出一種使用MEMS雙層掩膜完成自對準(zhǔn)刻蝕的工藝方法,藉此實(shí)現(xiàn)了在深腔結(jié)構(gòu)內(nèi)部對高深寬比硅E+E壓力傳感器結(jié)構(gòu)的精細(xì)加工。該工藝通過兩次連續(xù)的平面內(nèi)光刻工藝,使制作在襯底上的薄膜材料如氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）及光刻膠等形成復(fù)合圖形,每層圖形化后的掩膜可以進(jìn)行不同功能區(qū)的襯底刻蝕,刻蝕完畢后再去除對應(yīng)的掩膜。

MZI光波導(dǎo)MOEMSE+E壓力傳感器的設(shè)計(jì)及特性研究 微光機(jī)電系統(tǒng)（MOEMS）是一門涉及微光學(xué)、微機(jī)械、微電子技術(shù)的新興學(xué)科,由于采用了集成工藝制作技術(shù),因此具有體積小、響應(yīng)快、集成定位精確、大規(guī)模生產(chǎn)能力、價(jià)格低廉的特點(diǎn),已成為當(dāng)今科學(xué)技術(shù)的熱點(diǎn)研究理論之一。

多晶硅納米薄膜E+E壓力傳感器設(shè)計(jì) 半導(dǎo)體E+E壓力傳感器在現(xiàn)代社會(huì)中具有廣泛的應(yīng)用,采用新材料是提高傳感器性能的有效途徑。研究結(jié)果表明多晶硅納米薄膜（PSNF）具有比普通多晶硅薄膜更為*的壓阻特性。為使這種薄膜在傳感器上得到有效應(yīng)用,對已有半導(dǎo)體傳感器設(shè)計(jì)進(jìn)行系統(tǒng)研究,充分利用材料的壓阻特性,給出了PSNFE+E壓力傳感器設(shè)計(jì)方法,采用常規(guī)工藝制作了傳感器芯片,測試結(jié)果表明達(dá)到設(shè)計(jì)目標(biāo)。

煤礦支護(hù)墻監(jiān)測的光纖光柵E+E壓力傳感器研究 煤礦巷道填充墻對頂板的支護(hù)是確保煤礦正常作業(yè)的重要措施之一,因而利用E+E壓力傳感器對支護(hù)墻所承受壓力的監(jiān)測顯得尤為重要。傳統(tǒng)的礦壓觀測儀多為機(jī)械式、液壓式或其它電測式,需要在測量現(xiàn)場配備電源,同時(shí)具有數(shù)據(jù)不能遠(yuǎn)距離傳輸?shù)热秉c(diǎn)。

E+E壓力傳感器的溫度特性及其校驗(yàn)系統(tǒng) E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測量結(jié)果的誤差。設(shè)計(jì)了一種變溫E+E壓力傳感器校驗(yàn)系統(tǒng),能夠在-80℃（環(huán)境溫度、0-0.8MPa壓力范圍內(nèi)對E+E壓力傳感器進(jìn)行校驗(yàn)。

E+E微壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制作工藝研究 E+E微壓力傳感器是在微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域Z早開始研究并且產(chǎn)業(yè)化的微機(jī)電器件之一,微機(jī)電系統(tǒng)以微加工工藝為重點(diǎn)研究內(nèi)容。主要對E+E微壓力傳感器的相關(guān)部分進(jìn)行設(shè)計(jì),并在研究相關(guān)微加工工藝的基礎(chǔ)上制作了一種驗(yàn)證性的壓阻式E+E微壓力傳感器。

薄膜的制備及超高壓E+E壓力傳感器的研制 柴油機(jī)電控高壓共軌噴射系統(tǒng)由電控系統(tǒng)和燃油供給系統(tǒng)兩部分組成,電控系統(tǒng)由傳感器、電子控制單元（ECU）和執(zhí)行機(jī)構(gòu)三部分組成。傳感器是共軌系統(tǒng)核心組成部分之一,而軌壓傳感器又是眾多傳感器中的核心傳感器。

高溫E+E壓力傳感器設(shè)計(jì)與工藝實(shí)驗(yàn)研究 高溫惡劣條件下的壓力測量正逐步受到人們的重視。是Z有希望應(yīng)用于這方面的第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料。它具有耐高溫、耐壓高和抗輻射的特點(diǎn)，特別適用于制作高溫E+E壓力傳感器。國外已經(jīng)有眾多團(tuán)隊(duì)展開了研究，制作了光學(xué)式、電容式和壓阻式的SiCE+E壓力傳感器。

SIMOX高溫E+E壓力傳感器的技術(shù)研究 高溫E+E壓力傳感器是指其工作溫度高于125℃的E+E壓力傳感器。高溫E+E壓力傳感器以其優(yōu)良的高溫工作能力在E+E壓力傳感器中一直受到高度重視，是傳感器研究 的重要領(lǐng)域之一，也是各國政府所努力掌握的高技術(shù)之一。

真空微電子E+E壓力傳感器陣列集成系統(tǒng) 真空微電子E+E壓力傳感器是一種新型的E+E壓力傳感器，具有靈敏度高、溫度穩(wěn) 定性好、體積小、抗輻射、制備過程與匯工藝相兼容等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天、汽車、機(jī)器人等領(lǐng)域有著很好的應(yīng)用前景。提出并研制了一種能測量壓力分布的真空微電子E+E壓力傳感器陣列與薄膜鉑電阻溫度傳感器的集成系統(tǒng)。

聚酰亞胺金屬圖形化的柔性E+E壓力傳感器研究 近幾年柔性電子器件快速發(fā)展,在顯示屏,機(jī)器人技術(shù)和醫(yī)學(xué)治療等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。聚合物是柔性器件的重要組成部分,不僅提供柔性支撐,更是一種功能性材料,可以產(chǎn)生、轉(zhuǎn)移并處理機(jī)械、電等信號。以聚酰亞胺薄膜（PI）為基礎(chǔ)材料,研究了通過離子交換在其表面實(shí)現(xiàn)金屬圖形化的工藝,并基于該工藝,在柔性PI上制作了壓力三種傳感器,測試傳感器的性能。

深海環(huán)境下活塞式壓力平衡裝置及E+E壓力傳感器 對于深海壓力探測,必須既能承受和測量深海大壓力,又能測量微小的壓力變化,這是海洋E+E壓力傳感器所面臨的大測量范圍與高靈敏度之間的難題。針對這一問題做了以下研究。E+E壓力傳感器性能易受溫度變化的影響,從而增加了測量結(jié)果的誤差。

熱激勵(lì)氮化硅諧振梁E+E壓力傳感器研究 諧振器件通過檢測振動(dòng)元件的諧振頻率或振幅的變化來測量應(yīng)變、應(yīng)力、加速度、壓力、質(zhì)量變化以及流量等，廣泛應(yīng)用于力學(xué)量傳感器中。機(jī)械諧振式傳感器精度高、信號以及頻率輸出適于計(jì)算機(jī)信息處理，而且其信號輸出取決于機(jī)械參數(shù)，抗電干擾能力強(qiáng)，穩(wěn)定性好。

機(jī)動(dòng)車E+E壓力傳感器自動(dòng)測試臺(tái)控制系統(tǒng) 闡述了以工業(yè)控制計(jì)算機(jī)為核心、采用PCI總線微機(jī)插卡的設(shè)計(jì)方法、對機(jī)動(dòng)車用集成相對E+E壓力傳感器MLX90807和集成E+E壓力傳感器MLX90808進(jìn)行自動(dòng)測量，并對其進(jìn)行調(diào)理補(bǔ)償?shù)淖詣?dòng)測試系統(tǒng)的硬件設(shè)計(jì)、單片機(jī)固件程序設(shè)計(jì)和PCI總線驅(qū)動(dòng)程序的設(shè)計(jì)。

多鐵納米纖維的E+E壓力傳感器研究 壓電式E+E壓力傳感器是MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）器件中應(yīng)用廣泛的一類,其敏感材料多為塊體和薄膜。與塊體和薄膜相比,懸空的多鐵納米復(fù)合纖維具有很大的長徑比,可以將由壓電效應(yīng)引起的位移放大,從而有可能提高傳感器性能。

新型微納結(jié)構(gòu)的柔性E+E壓力傳感器 隨著信息社會(huì)的發(fā)展,物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的不斷進(jìn)步,人們對周邊環(huán)境信息的采集深度與廣度不斷提升,柔性E+E壓力傳感器作為一類十分重要的信息采集器件得到越來越廣泛的應(yīng)用,使用數(shù)量已非?？捎^。

擴(kuò)散硅E+E壓力傳感器的有限元模擬與研究 隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展,汽車電子化、智能化的程度越來越高,傳感器作為汽車控制系統(tǒng)的關(guān)鍵器件,其使用數(shù)量和技術(shù)水平?jīng)Q定了汽車控制系統(tǒng)的性能。主要研究了一種擴(kuò)散硅E+E壓力傳感器,該傳感器以硅薄膜為彈性膜,利用光刻、掩膜、濺射等微加工工藝和隔離封裝方法制成。